本期專訪｜胡石政特聘教授：高科技廠潔淨室技術

產學處 吳易軒專員/採訪報導

關鍵字：潔淨室、潔淨室粒子及氣流可視化、層流氣簾、晶圓盒

能源與冷凍空調工程系 胡石政特聘教授 學歷： 英國利物浦大學 建築設備工程系博士 經歷： 現任國立台北科技大學特聘教授 國立台北科技大學副教授 國立台北科技大學助理教授 工研院能資所研究員 美國明尼蘇答大學機械系粒子實驗室訪問教授 中華民國潔淨技術協會理事長 中華民國冷凍空調學會理事

老師主持之潔淨技術研發中心，與廠商共同開發高科技廠潔淨室技術的運作機制已達15 年以上，近十年來並與100多家廠商建立產學合作關係。本中心核心技術：

• 晶圓自動承載設備之污染控制完整解決方案。

• 大面積氣流可視化技術。

• 潔淨室粒子可視化技術。

• 空氣粒子過濾及化學吸附過濾系統開發及性能測試。

• 電子廠新廠規劃/設計&即有廠污染/節能解決方案。

• 晶圓自動承載設備之污染控制完整解決方案：應用適於晶圓及面版廠高階製程。

圖、層流氣簾

圖、晶圓盒& gas diffuser

圖、晶圓自動承載設備

• 潔淨室粒子及氣流可視化技術：應用適於晶圓及面版廠大面積流場/粒子可視化