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本期專訪|胡石政特聘教授:高科技廠潔淨室技術

本期專訪|胡石政特聘教授高科技廠潔淨室技術


產學處 吳易軒專員/採訪報導

關鍵字:潔淨室、潔淨室粒子及氣流可視化、層流氣簾、晶圓盒

胡石政特聘教授

能源與冷凍空調工程系

胡石政特聘教授

學歷:

英國利物浦大學 建築設備工程系博士

經歷:

現任國立台北科技大學特聘教授

國立台北科技大學副教授

國立台北科技大學助理教授

工研院能資所研究員

美國明尼蘇答大學機械系粒子實驗室訪問教授

中華民國潔淨技術協會理事長

中華民國冷凍空調學會理事

 

老師主持之潔淨技術研發中心,與廠商共同開發高科技廠潔淨室技術的運作機制已達15 年以上,近十年來並與100多家廠商建立產學合作關係。本中心核心技術:

  • 晶圓自動承載設備之污染控制完整解決方案。

  • 大面積氣流可視化技術。

  • 潔淨室粒子可視化技術。

  • 空氣粒子過濾及化學吸附過濾系統開發及性能測試。

  • 電子廠新廠規劃/設計&即有廠污染/節能解決方案。

  • 晶圓自動承載設備之污染控制完整解決方案:應用適於晶圓及面版廠高階製程。

 

層流氣簾

圖、層流氣簾

 

晶圓盒& gas diffuser

圖、晶圓盒& gas diffuser

晶圓自動承載設備

圖、晶圓自動承載設備

  • 潔淨室粒子及氣流可視化技術:應用適於晶圓及面版廠大面積流場/粒子可視化

潔淨室1

潔淨室2

潔淨室3

 

 

潔淨室4

 

 

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